而光阻通常是一個很好的屏蔽資料，且由于其圖案轉(zhuǎn)印過程簡單，因而常被運用。但運用光阻作為屏蔽資料時也會發(fā)作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由于精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性變差所造成的。處理的辦法則可運用黏著促進劑來添加光阻與基材間的黏著性，一般來說，當(dāng)溶液濃度添加時，精密五金蝕刻速率將會進步。而進步溶液溫度可加快化學(xué)反響速率，進而加快精密五金蝕刻速率。

影響精密五金蝕刻的要素許多，下面概述幾點：

1)蝕刻方式：浸泡和鼓泡式蝕刻會構(gòu)成較大的精密五金蝕刻，潑濺和噴淋式蝕刻精密五金蝕刻較小，尤以噴淋蝕刻效果好。

2)蝕刻液的種類：不一樣的蝕刻液化學(xué)組分不一樣，其蝕刻速率就不一樣，蝕刻系數(shù)也不一樣。例如：酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常為3，堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可抵達4。近期的研討標(biāo)明，以肖酸為根底的蝕刻系統(tǒng)能夠做到幾乎沒有精密五金蝕刻，抵達蝕刻的線條側(cè)壁靠近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開發(fā)。

脫銷定位系統(tǒng)定位包括照相底片沖孔器和雙圓孔脫銷定位qi。定位方法是：首先將正、反兩張底片藥膜面相對在顯微鏡下對準(zhǔn)，將對準(zhǔn)的兩張底片用沖孔器沖兩個定位孔，取一張沖好定位孔的底片去編鉆孔程序，便能得到同時鉆出元件孔和定位孔的數(shù)據(jù)帶或數(shù)據(jù)盤，一次性鉆出元件孔及定位孔，在孔金屬化后預(yù)鍍銅，便可用雙圓孔脫銷定位qi定位曝光。