相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。1000級 一般只對塵埃濃度做要求，用于光學(xué)器件，儀器等高精儀器等10000級，用于液壓設(shè)備的生產(chǎn)，和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級，這個(gè)級別比較的低，對凈化度要求不是很高，主要在印刷廠，包裝廠等。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

100級：是常用的凈化工程，除了對空氣中的塵埃數(shù)有要求，對空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進(jìn)行無菌制造，例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品，藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)也在此環(huán)境中，包括實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)環(huán)境。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"現(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了專業(yè)人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時(shí)候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達(dá)國家高出了15%。看到這些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。

排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。

凈化工程的一般施工程序：粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進(jìn)行無塵操作。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。