1、受潮濕的石墨電極，使用前要烘干。

2、去除備用石墨電極孔上的泡沫塑料保護(hù)帽，檢查電極孔內(nèi)螺紋是否完整。

3、用不含油和水的壓縮空氣清理備用石墨電極表面和孔內(nèi)螺紋;避免用鋼絲團(tuán)或金屬刷砂布清理。

4、將接頭小心地旋入備用石墨電極一端(不建議將接頭直接裝入爐上撤換下來(lái)的電極)的電極孔內(nèi)，不得碰撞螺紋。

5、將電極吊具(建議采用石墨材質(zhì)的吊具)擰入備用電極另一端的電極孔內(nèi)。

6、起吊電極時(shí)，墊松軟物到備用電極裝接頭一端的下面，以防止地面碰損接頭;用吊鉤伸入吊具的吊環(huán)后吊起，吊運(yùn)電極要平穩(wěn)，防止電極由B端松脫或與其它的固定裝置碰撞。

工藝卡點(diǎn)頭部不得有毛刺，工藝卡點(diǎn)尺寸與舟片孔過(guò)盈配合，不得脫落，工藝卡點(diǎn)兩頭對(duì)稱與舟片。

螺帽、螺母螺紋部分不得有崩角。

各部件在裝配前必須清理和清洗干凈，不得有毛刺、油污、和灰塵等。

裝配前應(yīng)對(duì)零、部件的主要配合尺寸，及相關(guān)精度進(jìn)行復(fù)查

裝配時(shí)所有配件必須按圖紙進(jìn)行裝配，各個(gè)配件不得隨意跟換。

螺桿、螺帽和螺母緊固時(shí)，嚴(yán)禁打擊或使用不合適的旋具和扳手。

必須采用力矩扳手，并按規(guī)定的擰緊力矩緊固。緊固后螺桿、螺母頭部不得損壞。

損壞速度又遭受滾動(dòng)軸承材料、軸和滾動(dòng)軸承表層生產(chǎn)加工狀況、荷載、速率及周邊物質(zhì)等標(biāo)準(zhǔn)的危害。在干運(yùn)行的狀況下,滾動(dòng)軸承容許的PV值還立即遭受滾動(dòng)軸承材料的危害,在高溫下容許PV的值務(wù)必比超低溫時(shí)要小得多。當(dāng)滾動(dòng)軸承浸在液體里或是是液體所飛濺的狀況下(濕運(yùn)行),其磨擦和損壞可大幅度降低。因之液體可以協(xié)助逸散因磨擦而造成的發(fā)熱量,那樣就進(jìn)一步提高高純石墨滾動(dòng)軸承容許的PV值,在具體標(biāo)準(zhǔn)下濕運(yùn)行容許的PV值將會(huì)較干運(yùn)行時(shí)高于近千倍。

1>.一般石墨舟在運(yùn)行 100 至 120 次后就應(yīng)該對(duì)石墨舟進(jìn)行清洗,石墨舟清洗次數(shù)達(dá)到后，硅片會(huì)發(fā)紅。 這是因?yàn)橹凵系?SiN 會(huì)隨著運(yùn)行次數(shù)的增加而增加，影響舟的正常使用。

2>.在室溫條件下 (<40°C)，將舟放入32升HF酸中，大約高過(guò)石墨舟1.5cm左右。

濃度是 10%， 腐蝕時(shí)間為 10-12小時(shí)。低濃度條件下，腐蝕槽會(huì)被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染，因此需要進(jìn)行定期的過(guò)濾維護(hù)。 濃度高于 10%會(huì)對(duì)操作人員造成危險(xiǎn)。其他部件應(yīng)該被分開(kāi)放入腐蝕槽內(nèi)并且不可互相接觸，這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位，這對(duì)于石墨連接塊而言更為重要。