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對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。國外潔凈室的強度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標準的要求是.人工光300lx有較好的效果,當工件精細程度更高時500x也是允許的。過去都參考美國20gB標準,采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風速的可行性。在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。2、光學微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機 增壓風柜 送風口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
潔凈室凈化工程凈化工程的施工特點:潔凈室凈化工程設(shè)計首先要了解所設(shè)計的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點等、比如設(shè)計的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程.首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點;對潔凈室凈化工程的要求——空氣潔凈度等級、溫濕度及其控制范圍、防微振、防靜電和高純物質(zhì)的供應要求等。進行潔凈廠房的平面布置、空間布置,此時必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個產(chǎn)輔助區(qū)t動力公用設(shè)施區(qū)的合理布局,通常是順應產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程,在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理,有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。