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構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。亂流式缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。光學(xué)微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。
要充分了解業(yè)主擬采用的生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備情況和對工藝布局的設(shè)想。在此之后,設(shè)計人員應(yīng)協(xié)同業(yè)主確定潔凈廠房各功能區(qū)的區(qū)劃,確定各類生產(chǎn)工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種控制參數(shù)——溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質(zhì)的純度及雜質(zhì)含量;初步選擇潔凈室凈化工程的氣流流型并進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的初步估算及設(shè)計力案的對比、確定;光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計之密閉空間。進行潔凈廠房的平面布置、空間布置,此時必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個產(chǎn)輔助區(qū)t動力公用設(shè)施區(qū)的合理布局,通常是順應(yīng)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程,在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理,有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。
保持手術(shù)室“相對密閉狀態(tài)”保證室內(nèi)空氣的潔凈度,根據(jù)層流手術(shù)室空氣凈化的原理,室內(nèi)的氣壓始終處于正氣狀態(tài),否則有可能導(dǎo)致污染空氣的流入,“相對密封狀態(tài)”可以保證室內(nèi)空氣的均速流動。減少不必要的渦流形成。手術(shù)結(jié)束后將所有污敷料及垃圾,分別放入專用污物袋中打包后,從污物孔投擲外走廊,徹底清潔室內(nèi)物品及地面,減少污物在室內(nèi)的停留時間。在此之后,設(shè)計人員應(yīng)協(xié)同業(yè)主確定潔凈廠房各功能區(qū)的區(qū)劃,確定各類生產(chǎn)工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種控制參數(shù)——溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質(zhì)的純度及雜質(zhì)含量。