凈化工程之“肺“--HEPA過濾器的由來

國人那時開始對這種過濾器結構產生興趣。20世紀80年代，國內多家院所和企業(yè)研制無隔板過濾器；20世紀90年代，國內數(shù)家企業(yè)引進國外無隔板過濾器成套生產線。自此,我國慢慢開始發(fā)展自己的過濾器產業(yè).

自以來，過濾器凈化用途已經從原來單純的個人防護向企業(yè)工作環(huán)境的空氣凈化方面發(fā)展,廣泛應用于光電子、半導體。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應用

粒徑分布在0.1μm ~0.3μm。冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經laskin噴管飛濺產生物態(tài)的多分散相DOP（PAO）氣溶膠，分布粒徑在0.65μm左右。對過濾器進行掃描檢漏時，經常使用冷DOP（PAO）。

檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是粒子計數(shù)器，過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計（以下簡稱光度計）。

在20 Pa工作壓力下，氣流速率為50~2025 f3/min時，可產生10μg/mL~100μg/mL 濃度的多分散性亞微米級油塵氣溶膠。使用的氣溶膠光度 計為ATI 2H型光度計，動態(tài)測量范圍為0.00005 μg/L ~120μg/L，采樣流量為lf3/min（28.3 L/min）。在待測HEPA上游一側引入PAO氣溶膠于HVAC 系統(tǒng)中的HEPA，為使氣溶膠到達HEPA時的濃度均勻。

按照氣溶膠光度計操作要求進行初始化、設定報警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連，測量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發(fā)生器操作要求調節(jié)發(fā)生的氣溶膠濃度，使上游氣溶膠濃度達到10 mg/L~30 mg/L。

掃描檢漏卸下HEPA的散流板，對整個過濾器面、過濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進行掃描。