真空檢漏向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對(duì)的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封，然后向罩中噴入氮?dú)?，觀察檢漏儀的漏率變化，如果緩慢上升，說明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。極限壓力不合格，升壓率合格這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。

檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s檢漏儀優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：采用便攜式設(shè)計(jì)，設(shè)備外型美觀小巧，采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)，有通訊接口，可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害；質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強(qiáng)，能穿透微小細(xì)縫；化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)；

質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每1-2小時(shí)校驗(yàn)。檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場(chǎng)所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測(cè)漏容器的頂部便于觀察的位置。檢漏主要領(lǐng)域：電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；