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高純氧氣高爐能源節(jié)約的概念
高純氧氣高爐特點(diǎn)
首先,氧氣高爐將純氧氣代替熱風(fēng)注入,高純氧氣高爐能以更高生產(chǎn)率運(yùn)行。在氧氣高爐中,由于在無氮環(huán)境下運(yùn)行,還原性氣體如CO和H2的濃度增加且廢氣氣體下降。
第l一,熔渣流動(dòng)和礦石的還原速率限制了高爐生產(chǎn)率。因?yàn)槿墼鲃?dòng)和礦石還原速率的限制被解除了,使氧氣高爐的生產(chǎn)率可達(dá)到傳統(tǒng)高爐的兩倍。
第二,大量的粉狀煤注入到鼓風(fēng)口,注入的同時(shí)焦比下降。由于純氧的燃燒,氧氣高爐的燃燒效率更高,因此氧氣高爐能夠在更高的粉煤率和更低的焦比下運(yùn)作。
第三,高純氧氣高爐能夠產(chǎn)生比傳統(tǒng)高爐具有更高熱值的高爐氣。傳統(tǒng)高爐和氧氣高爐中的高爐氣的熱值分別為3.0MJ/Nm3和6.4MJ/Nm3。高熱值的高爐氣在其它工藝中能得到有效的利用,例如動(dòng)力裝置和作為某種化學(xué)資源。
高純度氣體的管道輸送,將高純氣體送至用氣點(diǎn),并保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗(yàn)檢測(cè)合格。高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對(duì)生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技術(shù),對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10 (ppm級(jí))已經(jīng)不能達(dá)到要求,需要達(dá)到10 (ppb級(jí)),甚至10一~2(ppt級(jí)),塵埃粒徑要求控制到0.05-0。Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。一氧化氮能和血紅蛋白中的鐵元素生成配合物,從而引起高鐵血紅蛋白癥。
5.表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速?zèng)_刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。并用肥皂水或攜帶式可燃性氣體爆檢測(cè)儀進(jìn)行檢查,禁止用明火檢查。
6.抗腐蝕性
微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會(huì)被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會(huì)發(fā)生安全事故。
7.內(nèi)表面處理
為了進(jìn)一步改善管道材料特性,對(duì)管道內(nèi)表面進(jìn)行處理,一般有三種方法:酸洗鈍化(AP),光亮退火(BA)和電解拋光(EP)處理。試驗(yàn)資料和實(shí)踐都證明,通過表面處理后。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱。
8.管道材料及連接
純度在99.99%以內(nèi)的氣體管道,采用10#或20#無縫鋼管(內(nèi)表面鍍鋅或純化處理)、銅管。鍍鋅管道采用螺紋連接。總雜質(zhì)含量≤10—100ppm的氣體管道,采用304不銹鋼光亮退火管(304BA)、304不銹鋼管純化處理(304AP)、紫銅管。管道采用焊接連接,可以采用對(duì)接焊、承插焊或套管焊接。總雜質(zhì)含量≤1-1oppm的氣體管道,采用316L不銹鋼光亮退火管(316LBA)、316L不銹鋼電拋光管(304EP)。管道連接采用焊接, 內(nèi)壁無瘢痕的對(duì)接焊,高純氬氣保護(hù)焊??傠s質(zhì)含量≤lppm的高純氣體管道,必須采用316L不銹鋼電拋光管(3l6LEP)。管道連接采用焊接,內(nèi)壁無瘢痕的對(duì)接焊,高純氬氣保護(hù)焊,在專用的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。管道閥門及連接氣體管道普遍采用球閥、隔膜閥和波紋管閥,根據(jù)氣體純度、有毒性和可燃爆l炸性要求選擇相適應(yīng)的閥門。