流量控制器分類

熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測(cè)溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計(jì)的加熱元件和測(cè)溫元件都置于被測(cè)流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計(jì)，適于測(cè)量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測(cè)量元件與被測(cè)流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測(cè)量靈敏度和使用壽命。怕使用潮濕的腐蝕性氣體,潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹,造成MFC通道損壞,因此要求在使用腐蝕性氣體前,要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理。測(cè)量高流速、有腐蝕性的流體時(shí)不宜選用，這是接觸式的缺點(diǎn)。

2．非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計(jì)的加熱及測(cè)溫元件都置于流體管道外，與被測(cè)流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點(diǎn)。

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流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1)  流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。

對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。

(2)  測(cè)量控制的自動(dòng)化

 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。隨著自動(dòng)化水平的提高，許多生產(chǎn)過程都對(duì)流量測(cè)量提出了新的要求。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。

(3)  地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

(4)  適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0～5 sccm，流量范圍可達(dá)0～200 slm。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。一、壓力狀況在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測(cè)量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。二、設(shè)備在使用條件上必須進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定，該設(shè)備時(shí)屬于在線使用高精的測(cè)量儀表，長期使用時(shí)一定要定期的進(jìn)行標(biāo)定。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

質(zhì)量流量控制器主要參數(shù)

質(zhì)量流量精度： ±0.002×流量±零點(diǎn)漂移

密度測(cè)量精度： ±0.003g／cm3

密度測(cè)量范圍： 0.5~1.5g／cm3

溫度測(cè)量范圍： ±1°C

傳感器相關(guān)數(shù)據(jù)：

環(huán)境溫度： －40~60°C

介質(zhì)溫度： －50~200°C

防爆類型： iBⅡBT3

關(guān)聯(lián)設(shè)備： 配套變送器

(3) 變送器相關(guān)數(shù)據(jù)：

工作溫度： 0~60°C

相對(duì)濕度： 95%以下

電 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W