非曝光區(qū)的光刻膠由于在曝光時并未發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在顯影時也就不會存在這樣的酸堿中和，因此非曝光區(qū)的光刻膠被保留下來。經(jīng)過曝光的正膠是逐漸溶解的，中和反應(yīng)只在光刻膠的表面進(jìn)行，因此正膠受顯影液的影響相對比較小。進(jìn)行顯影的方式有很多種，廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個階段：硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺 上，并且在硅片表面上噴灑顯影液；然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進(jìn)行顯影；顯影完成后，需要經(jīng)過漂洗，之后再烘干。


蝕刻，通常所指蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻，指通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。來料檢驗當(dāng)接到客戶需要加工的工件時，首先我們要經(jīng)過檢查，也就是我們目前IQC工序所要做的工作，把接到客戶的加工工件抹干凈，然后進(jìn)行仔細(xì)檢驗，把來料中存在的不良品剔除出來，保證投入的產(chǎn)品是良品。


自動布線工具本身并不知道應(yīng)該做些什幺。為完成布線任務(wù)，布線工具需要在正確的規(guī)則和限制條件下工作。不同的信號線有不同的布線要求，要對所有特殊要求的信號線進(jìn)行分類，不同的設(shè)計分類也不一樣。每個信號類都應(yīng)該有優(yōu)先級，優(yōu)先級越高，規(guī)則也越嚴(yán)格。規(guī)則涉及印制線寬度、過孔的較大數(shù)量、平行度、信號線之間的相互影響以及層的限制，這些規(guī)則對布線工具的性能有很大影響。認(rèn)真考慮設(shè)計要求是成功布線的重要一步。


簡單的講蝕刻工藝是五金沖壓工藝的延伸，也稱為光化學(xué)蝕刻，也有人稱為腐蝕。五金沖壓是開模具沖壓成型，但沖壓工藝比較粗糙，公差大，精度不高，對于高粗度的零件解決不了，蝕刻工藝解決了工業(yè)生產(chǎn)中對高精密零件需求。蝕刻就利用光化學(xué)把圖紙轉(zhuǎn)移到鋼片上，通過化學(xué)藥反應(yīng)的原理，把不要的部分腐蝕掉，產(chǎn)品的部保留下來。