電池片的制作工藝

振鑫焱光伏科技有限公司常年采購：高價回收硅片，電池片，初級多晶硅，銀漿布，單晶硅，多晶硅，太陽能電池，光伏組件，太陽能電池板，客戶撤退，降級，庫存，El，不良測試，二手，舊，工程，拆卸，路燈，拆解電站，拆卸，膠合板，層壓板，無邊界晶體硅，多晶硅，單晶硅，實驗板，債務(wù)償還，返工，光伏模塊回收等。

影響因素

1. 溫度

溫度 T 越高，擴(kuò)散系數(shù) D 越大，擴(kuò)散速度越快。

2. 時間

對于恒定源：時間 t 越長結(jié)深越深，但表面濃度不變。

對于限定源：時間 t 越長結(jié)深越深，表面濃度越小。

3. 濃度

決定濃度是因素：氮氣流量、源溫。

表面濃度越大，擴(kuò)散速度越快。

4. 第三組元

主要是摻硼量對擴(kuò)散的影響，雜質(zhì)增強擴(kuò)散機(jī)制。在二元合金中加入第三元素時，擴(kuò)散系數(shù)也會發(fā)生變化。摻硼量越大，擴(kuò)散速率越快。即電阻率越小，越容易擴(kuò)散。

控制點

方塊電阻，外觀，單片均勻性，整管均勻性。

方塊電阻： 表面為正方形的半導(dǎo)體薄層在電流方向所呈現(xiàn)的電阻。 R= 電阻率 *L/S, 對方塊硅片，長度等于寬度，則 R= 電阻率 / 厚度，方塊電阻～ ( １／ Ns*Xj) Ns ：電化學(xué)濃度， Xj ：擴(kuò)散結(jié)深。

1 ．頻率

射頻 PECVD 系統(tǒng)大都采用 50kHz~13.56 MHz 的工業(yè)頻段射頻電源。較高頻率（ >4MHz ）沉積的氮化硅薄膜具有更好的鈍化效果和穩(wěn)定性。

2 ．射頻功率

增加 RF 功率通常會改善 SiN 膜的質(zhì)量。但是，功率密度不宜過大，超過 1W/cm2 時器件會造成嚴(yán)重的射頻損傷。

3 ．襯底溫度

PECVD 膜的沉積溫度一般為 250 ～ 400 ℃ 。這樣能保證氮化硅薄膜在HF 中有足夠低的腐蝕速率，并有較低的本征壓力，從而有良好的熱穩(wěn)定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉積的氮化硅膜，本征應(yīng)力很大且為張應(yīng)力，而溫度高于 450 ℃ 時膜容易龜裂。

4 ．氣體流量

影響氮化硅膜沉積速率的主要氣體是 SiH4 。為了防止富硅膜，選擇NH3/SiH4=2~20 （體積比）。氣體總流量直接影響沉積的均勻性。為了防止反應(yīng)區(qū)下游反應(yīng)氣體因耗盡而降低沉積速率，通常采用較大的氣體總流量，以保證沉積的均勻性。

5 ．反應(yīng)氣體濃度

SiH4 的百分比濃度及 SiH4/NH3 流量比，對沉積速率、氮化硅膜的組分及物化性質(zhì)均有重大影響。

理想 Si3N4 的 Si/N ＝ 0.75 ，而 PECVD 沉積的氮化硅的化學(xué)計量比會隨工藝不同而變化，但多為富硅膜，可寫成 SiN 。因此，必須控制氣體中的 SiH4 濃度，不宜過高，并采用較高的 SiN 比。除了 Si 和 N 外， PECVD 的氮化硅一般還包含一定比例的氫原子，即 SixNyHZ 或 SiNx :H 。

6 ．反應(yīng)壓力、和反應(yīng)室尺寸 等都是影響氮化硅薄膜的性能工藝參數(shù)。

電池片絲網(wǎng)印刷技術(shù)

振鑫焱光伏科技有限公司常年采購：高價回收硅片，電池片，初級多晶硅，銀漿布，單晶硅，多晶硅，太陽能電池，光伏組件，太陽能電池板，客戶撤退，降級，庫存，El，不良測試，二手，舊工程，拆卸，路燈，拆解電站，拆卸，膠合板，層壓板，無邊界晶體硅，多晶硅，單晶硅，實驗板，債務(wù)償還，返工，光伏模塊回收等。

電池片絲網(wǎng)印刷技術(shù)

5  設(shè)備  

對設(shè)備的要求有如下 3 點：  

（ 1 ）工作臺的平面度。印刷時電池片被吸附于工作臺表面，如表面不平，在負(fù)壓下電池片易裂，以 150mm 電池片為例，工作臺的平面度不大于 0.02mm ；  

（ 2 ）工作臺重復(fù)定位精度。根據(jù)太陽能電池片的精度要求，工作臺重復(fù)定位精度達(dá)到 0.01mm 即能滿足工藝要求；  

（ 3 ）印刷時絲網(wǎng)與工作臺的平行度決定印刷膜厚度的一致性，根據(jù)使用要求，以 150mm 電池片為例二者平行度 0.04mm 。

電池片的平面度不大于 0.02mm ，表面粗糙度低于 1.6 。  

6  結(jié)束語  

    太陽能電池印刷是電池片生產(chǎn)線的重要工序，對電池片的質(zhì)量起著重要作用，太陽能電池印刷技術(shù)是一個有機(jī)的整體，是各種技術(shù)的組合，需要工藝工程師和設(shè)備工程師的協(xié)同工作：既要了解各個參數(shù)的特點，又要了解其相互的制約關(guān)系； 3 種印刷工序既有相同之處又有區(qū)別，需要針對不同工序的具體要求分。