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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。機(jī)床測頭測量軟件包采用易于編程的宏程序控制工件找正、對刀和測量過程。

校驗(yàn)測針要注意的問題：

測針校驗(yàn)后的校正直徑小于名義值，不會影響三座標(biāo)測量機(jī)的測量精度。相反，還會對觸測和測針的變形起到補(bǔ)償?shù)淖饔?，因?yàn)槲覀冊谟萌鴺?biāo)測量機(jī)測量過程中測量軟件對紅寶石球半徑的修正（把測針紅寶石球中心點(diǎn)的坐標(biāo)換算到觸測點(diǎn)的坐標(biāo)），使用的是校正直徑而不是名義直徑。正規(guī)機(jī)床測頭廠家往往都會擁有自己的專利品牌或?qū)＠跈?quán)品牌，有保證。

測球材料

紅寶石

對于絕大多數(shù)測量場合來說，具有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)和特性的測球材料中，紅寶石是已知硬的材料之一。

人造紅寶石是在2000 ℃下用Verneuil工藝方法燒結(jié)成的純度為99％的氧化鋁晶體（剛玉）。

然后將剛玉切割并逐漸加工為球體。紅寶石測球的表面極為光滑，具有極高的抗壓強(qiáng)度和很高的機(jī)械耐磨性能。

軸類零件的在線測量

在線測量時，要充分考慮到零件在線測量元素能充分地采到點(diǎn)，需要把零件校正。注意大多數(shù)情況下，必須要校正兩個方向。比如說，零件垂直工作臺，基準(zhǔn)圓朝Y負(fù)擺放時，需要校正X及Z兩個方向，確保鎖定Y軸時，整個端面都與測針運(yùn)動方向平行。這時，才可以繼續(xù)往下考慮在線測量的事情。 其次是選在線測量測針。在線測量測針要根據(jù)零件測量元素來定，如果基準(zhǔn)相對長一點(diǎn)，端面臺階面有采點(diǎn)的位置，可以考慮用直徑稍大的在線測量測針，若是基準(zhǔn)較短，而且某一端面中間存在凸臺，余量較小，那么從整個零件的在線測量出發(fā)，可能就需要選用直徑小一號的在線測量測針。更換測針（不同的三坐標(biāo)測量機(jī)測量軟件方法不同），因?yàn)闇y針長度是測頭自動校驗(yàn)的重要參數(shù)，如果出現(xiàn)錯誤，會造成測針的非正常碰撞，輕者碰壞測針，重則造成測頭（傳感器）損壞。