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流量控制器的工作原理
流量控制器(流量計(jì))利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計(jì)(Thermal Profile Flowmeter)。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號(hào)放大去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測(cè)閉環(huán),去控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題
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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn),當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符,其實(shí)原因很簡(jiǎn)單,因?yàn)樵贛FC行業(yè)中,有一種參數(shù)叫CF,即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)(下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮?dú)鉃橹行模植荚?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話,簡(jiǎn)單的分析其比率,用各自的CF值計(jì)算即可。
假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的,但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He,實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數(shù)時(shí),是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái),如果N2流過(guò)He的MFC,實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量。
因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí),考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。
質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC),它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
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質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量
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質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量通過(guò)流量計(jì)的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測(cè)量介質(zhì)的密度及間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機(jī)為核心的智能儀表,因此可根據(jù)上述三個(gè)基本量而導(dǎo)出十幾種參數(shù)供用戶(hù)使用。質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活,功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高,是新一代流量?jī)x表。
質(zhì)量流量計(jì)可分為兩類(lèi):一類(lèi)是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另一類(lèi)為間接式或推導(dǎo)式,如應(yīng)用超聲流量計(jì)和密度計(jì)組合,對(duì)它們的輸出再進(jìn)行乘法運(yùn)算以得出質(zhì)量流量。
直接式質(zhì)量流量計(jì)有多種類(lèi)型,如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。