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氣體質(zhì)量流量控制器廠家擇優(yōu)推薦

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發(fā)布時間:2020-10-26 17:32  






質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點:流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。



質(zhì)量流量計簡介

質(zhì)量流量:

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業(yè)標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業(yè)標準). 標準狀態(tài)為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計的測量

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質(zhì)量流量計直接測量通過流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表,因此可根據(jù)上述三個基本量而導出十幾種參數(shù)供用戶使用。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活,功能強大,性能價格比高,是新一代流量儀表。

質(zhì)量流量計可分為兩類:一類是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另一類為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進行乘法運算以得出質(zhì)量流量。

直接式質(zhì)量流量計有多種類型,如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。



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