質(zhì)量流量控制器的常見問題

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實際使用中發(fā)現(xiàn)，當輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設(shè)某臺MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數(shù)時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。

流量計的常見類型介紹

1. 容積式流量計，它利用機械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個已知的體積部分，根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。

2. 浮子式流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量計 ，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。

4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。

7. 電磁流量計，電磁流量計是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。

8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

科里奧利式流量計，其原理是利用流體在振管內(nèi)流動時產(chǎn)生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質(zhì)量流量。

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