質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時反應(yīng)氣流瞬時流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計(jì)）利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門。通過實(shí)時的流量檢測閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

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質(zhì)量流量控制器的常見問題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數(shù)時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量計(jì)簡介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù)，是一個因變量，而流體的質(zhì)量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計(jì)中，如孔板流量計(jì)、層流質(zhì)量流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、超聲波流量計(jì)和橢圓齒輪流量計(jì)等的流量測量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟(jì)核算和貿(mào)易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計(jì)僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設(shè)法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數(shù)后，通過修正、換算和補(bǔ)償?shù)确椒ㄩg接地得到流體的質(zhì)量。這種測量方法，中間環(huán)節(jié)多，質(zhì)量流量測量的準(zhǔn)確度難以得到保證和提高。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，相繼出現(xiàn)了一些直接測量質(zhì)量流量的計(jì)量方法和裝置，從而推動了流量測量技術(shù)的進(jìn)步。

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