下游發(fā)展趨勢

光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。光刻工藝的成本約為整個(gè)芯片制造工藝的35%，并且耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)芯片工藝的40%到50%。因?yàn)橛醚谀ぐ婧蛢煞N不同光刻膠結(jié)合，在晶園表面光刻得到的尺寸是不一樣的，由于光在圖形周圍的衍射效應(yīng)，使得用負(fù)膠和亮場掩膜版組合在光刻膠層上得到的圖形尺寸要比掩膜版上的圖形尺寸小。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%，市場巨大。因此光刻膠是半導(dǎo)體集成電路制造的核心材料。2016年全球半導(dǎo)體用光刻膠及配套材料市場分別達(dá)到14.5億美元和19.1億美元，分別較2015年同比增長9.0%和8.0%。預(yù)計(jì)2017和2018年全球半導(dǎo)體用光刻膠市場將分別達(dá)到15.3億美元和15.7億美元。隨著12寸先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)生產(chǎn)線的興建和多次曝光工藝的大量應(yīng)用，193nm及其它先進(jìn)光刻膠的需求量將快速增加

NR9-3000PYNR73G 6000P光刻膠報(bào)價(jià)

三、光刻膠涂覆（Photoresist Coating）

光刻膠涂覆通常的步驟是在涂光刻膠之前，先在900-1100度濕氧化。氧化層可以作為濕法刻蝕或B注入的膜版。LCD市場助力全球LCD面板總出貨面積增長，LCD光刻膠需求增加。作為光刻工藝自身的首先過程，一薄層的對(duì)紫外光敏感的有機(jī)高分子化合物，即通常所說的光刻膠，要涂在樣品表面(SiO2)。首先光刻膠被從容器中取出滴布到置于涂膠機(jī)中的樣品表面，(由真空負(fù)壓將樣品固定在樣品臺(tái)上)，樣品然后高速旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速由膠粘度和希望膠厚度確定。在這樣的高速下，膠在離心力的作用下向邊緣流動(dòng)。

涂膠工序是圖形轉(zhuǎn)換工藝中初的也是重要的步驟。涂膠的質(zhì)量直接影響到所加工器件的缺陷密度。為了保證線寬的重復(fù)性和接下去的顯影時(shí)間，同一個(gè)樣品的膠厚均勻性和不同樣品間的膠厚一致性不應(yīng)超過±5nm(對(duì)于1.5um膠厚為±0.3%)。

光刻膠的目標(biāo)厚度的確定主要考慮膠自身的化學(xué)特性以及所要圖形中線條的及間隙的微細(xì)程度。太厚膠會(huì)導(dǎo)致邊緣覆蓋或連通、小丘或田亙狀膠貌、使成品率下降。國內(nèi)企業(yè)的光刻膠產(chǎn)品目前還主要用于PCB領(lǐng)域，代表企業(yè)有晶瑞股份、科華微電子。在MEMS中、膠厚(烤后)在0.5-2um之間，而對(duì)于特殊微結(jié)構(gòu)制造，膠厚度有時(shí)希望1cm量級(jí)。在后者，旋轉(zhuǎn)涂膠將被鑄膠或等離子體膠聚合等方法取代。常規(guī)光刻膠涂布工序的優(yōu)化需要考慮滴膠速度、滴膠量、轉(zhuǎn)速、環(huán)境溫度和濕度等，這些因素的穩(wěn)定性很重要。

在工藝發(fā)展的早期，負(fù)膠一直在光刻工藝中占主導(dǎo)地位，隨著VLSI IC和2～5微米圖形尺寸的出現(xiàn)，負(fù)膠已不能滿足要求。隨后出現(xiàn)了正膠，但正膠的缺點(diǎn)是粘結(jié)能力差。

用正膠需要改變掩膜版的極性，這并不是簡單的圖形翻轉(zhuǎn)。光刻膠趨勢半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域全球市場規(guī)模趨于穩(wěn)定，2017年全球市場約13。因?yàn)橛醚谀ぐ婧蛢煞N不同光刻膠結(jié)合，在晶園表面光刻得到的尺寸是不一樣的，由于光在圖形周圍的衍射效應(yīng)，使得用負(fù)膠和亮場掩膜版組合在光刻膠層上得到的圖形尺寸要比掩膜版上的圖形尺寸小。用正膠和暗場掩膜版組合會(huì)使光刻膠層上的圖形尺寸變大。

NR77-25000PNR73G 6000P光刻膠報(bào)價(jià)

(3)其他特性。光刻膠的其他特性包括膠的純度、膠內(nèi)的金屬含量、膠的可應(yīng)用范圍、膠的儲(chǔ)存有效期和膠的燃點(diǎn)。

NR9-250P

20．有沒有光刻膠PC3-6000的資料嗎？

A PC3-6000并不是光刻膠，它是用在chip

on glass 上的膠粘劑。

21．是否有Wax替代品？

A PC3-6000可替代Wax做晶片和玻璃的固定，比較容易去除掉。

22．貴公司是否有粘接硅襯底和襯底的材料？

A 有，IC1-200就是

23．請(qǐng)問是否有不用HMDS步驟的正性光刻膠？

A 美國Futurrex 整個(gè)系列的光刻膠都不需要HMDS步驟，都可以簡化。

24．一般電話咨詢光刻膠，我們應(yīng)該向客戶咨詢哪些資料？

A 1 需要知道要涂在什么材質(zhì)上，2

還有要知道需要做的膜厚，3

還要知道光刻膠的分辨率

4還有需要正膠還是負(fù)膠，5

需要國產(chǎn)還是進(jìn)口的

27．想找一款膜厚在120um，的光刻膠，有什么光刻膠可以做到啊！

A 以前有使用過美國有款光刻膠可以達(dá)到Futurrex

NR21-20000P ，。

28．有沒有了解一款美國Futurrex

NR9-250P的光刻膠，請(qǐng)教下？

A 這是一款負(fù)性光刻膠，濕法蝕刻使用的，附著力很好，耐100度的溫度，國內(nèi)也有可以代理的公司，F(xiàn)uturre

光刻膠是世界第4大的電子化學(xué)品制造商，在光刻膠的領(lǐng)域有著不錯(cuò)的聲譽(yù)，在太陽能光伏，和LED半導(dǎo)體行業(yè)都有不錯(cuò)的市場占有率。

29．想找款膜厚的產(chǎn)品，進(jìn)行蝕刻，有什么好推薦？

A 厚膜應(yīng)用（thick

film applicati），主要是指高縱橫比（Aspect

ratios）,高分辨率，高反差，有幾款產(chǎn)品向你推薦一下《NR4-8000P，NR2-20000P，NR5-8000，這些產(chǎn)品都需要用到邊膠清洗液》

的光刻