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光刻膠相關(guān)信息
賽米萊德——專業(yè)光刻膠供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
光刻膠是印刷線路板、顯示面板、集成電路等電子元器件的上游。光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋范圍非常廣,上游為基礎(chǔ)化工材料行業(yè)、精細化學品行業(yè),中游為光刻膠制備,下游為電子加工廠商、各電子器產(chǎn)品應(yīng)用終端。由于上游產(chǎn)品直接影響下游企業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量,下業(yè)企業(yè)對公司產(chǎn)品的質(zhì)量和供貨能力十分重視,常采用認證采購的模式,進入壁壘較高。
在下游半導體、LCD、PCB等行業(yè)需求持續(xù)擴大的拉動下,光刻膠市場將持續(xù)擴大。2018年全球光刻膠市場規(guī)模為85億美元,2014-2018年復合增速約5%。據(jù)IHS,未來光刻膠復合增速有望維持5%。按照下游應(yīng)用來看,目前半導體光刻膠占比24.1%,LCD 光刻膠占比26.6%,PCB 光刻膠占比24.5%,其他類光刻膠占比24.8%。
如何選擇光刻膠
光刻膠必須滿足幾個硬性指標要求:高靈敏度,高對比度,好的蝕刻阻抗性,高分辨力,易于處理,高純度,長壽命周期,低溶解度,低成本和比較高的玻璃化轉(zhuǎn)換溫度(Tg)。主要的兩個性能是靈敏度和分辨力。大多數(shù)光刻膠是無定向的聚合體。當溫度高于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,聚合體中相當多的鏈條片以分子運動形式出現(xiàn),因此呈粘性流動。當溫度低于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,鏈條片段的分子運動停止,聚合體表現(xiàn)為玻璃而不是橡膠。當Tg低于室溫,膠視為橡膠。當Tg高于室溫,膠被視為玻璃。由于溫度高于Tg時,聚合體流動容易,于是加熱膠至它的玻璃轉(zhuǎn)化溫度一段時間進行退火處理,可達到更穩(wěn)定的能量狀態(tài)。在橡膠狀態(tài),溶劑可以容易從聚合體中去除,如軟烘培膠工藝。但此時膠的工作環(huán)境需要格外關(guān)注,當軟化膠溫度大于Tg時,它容易除去溶劑,但也容易混入各種雜質(zhì)。一般來說,結(jié)晶的聚合體不會用來作為膠,因為結(jié)晶片的構(gòu)成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。
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光刻膠成分介紹
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光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應(yīng)用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需要的模板圖案。 光刻膠又稱光致抗蝕劑,以智能管感光材料,在光的照射與溶解度發(fā)生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分:感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中有時還包括增感劑。根據(jù)光刻膠按照如何響應(yīng)紫外光的性可以分為兩類:負性光刻膠和正性光刻膠。
1、負性光刻膠
主要有聚酯膠和環(huán)化橡膠系兩大類,前者以柯達公司的KPR為代表,后者以O(shè)MR系列為代表。
2、正性光刻膠
主要以重氮醌為感光化合物,以酚醛樹脂為基體材料。常用的有AZ- 1350系列。正膠的主要優(yōu)點是分辨率高,缺點是靈敏度、而刻蝕性和附著性等較差。
光刻膠的特點
1、在光的照射下溶解速率發(fā)生變化,利用曝光區(qū)與非曝光區(qū)的溶解速率差來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移;
2、溶解抑制/溶解促進共同作用;
3、作用的機理因光刻膠膠類型不同而不同;