相對(duì)分子質(zhì)量140.28?；疑?、白色或灰白色。屬高溫難溶化合物，無(wú)熔點(diǎn)，抗高溫蠕變能力強(qiáng)，不含粘結(jié)劑的反應(yīng)燒結(jié)氮化硅負(fù)荷軟化點(diǎn)在1800℃以上；六方晶系。晶體呈六面體。反應(yīng)燒結(jié)法制得的Si3N4密度為1.8~2.7g/cm3，熱壓法制得Si3N4密度為3.12~3.22g/cm3。莫氏硬度9~9.5，維氏硬度約為2200，顯微硬度為32630MPa。熔點(diǎn)1900℃（加壓下）。通常在常壓下1900℃左右分解。比熱容0.71J/(g·K)。生成熱為-751.57kJ/mol。熱導(dǎo)率為（2-155）W/(m·K)。線膨脹系數(shù)為2.8~3.2×10-6/℃(20~1000℃)。不溶于水。在氮化硅薄膜的沉積過(guò)程中，反應(yīng)產(chǎn)物氫原子進(jìn)入氮化硅薄膜以及硅片內(nèi)，起到了鈍化缺陷的作用。溶于。在空氣中開(kāi)始氧化的溫度1300~1400℃。比體積電阻，20℃時(shí)為1.4×105 ·m,500℃時(shí)為4×108 ·m。彈性模量為28420~46060MPa。耐壓強(qiáng)度為490MPa（反應(yīng)燒結(jié)的）。1285℃時(shí)與二氮化二鈣反應(yīng)生成二氮硅化鈣，600℃時(shí)使過(guò)渡金屬還原，放出氮氧化物。抗彎強(qiáng)度為147MPa。可由硅粉在氮?dú)庵屑訜峄螓u化硅與氨反應(yīng)而制得。電阻率在10^15-10^16Ω.cm?？捎米鞲邷靥沾稍稀?/p>

氮化硅制品按工藝可以分為反應(yīng)燒結(jié)制品、熱壓制品、常壓燒結(jié)制品、等靜壓燒結(jié)制品和反應(yīng)重?zé)破返取Ｆ渲?，反?yīng)燒結(jié)是一種常用的生產(chǎn)氮化硅耐火制品的方法。

反應(yīng)燒結(jié)法生產(chǎn)氮化硅制品是將磨細(xì)的硅粉（粒度一般小于80μm），用機(jī)壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮?dú)庵屑訜嶂?350～1400℃，在燒成過(guò)程中同時(shí)氮化而制得。采用這種生產(chǎn)方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對(duì)制品的性能有很大的影響。

氮化硅涂料能有效解決鋼坯熱處理過(guò)程中氧化燒損問(wèn)題。納米硅酸鹽涂料防氧化效果明顯，能使原來(lái)普通熱軋板所產(chǎn)生的3％-5％的氧化皮降到0.1％-0.8％，使不銹鋼熱軋板所產(chǎn)生的1％-3％的氧化皮降到0.2％以下。

氮化硅炮泥。含有氮化硅的炮泥，將起到有效的燒結(jié)的作用、耐腐蝕性的作用及抗分裂性的作用，應(yīng)用于爐體或電爐中能夠?qū)⒏郀t爐口更加穩(wěn)定的封好，并且非常容易破割。

氮化硅在HRB400高強(qiáng)度熱軋鋼筋有很好的應(yīng)用。Si3N4作為增氮?jiǎng)?，配合FeV用于生產(chǎn)V微合金化Ⅲ級(jí)鋼筋，鋼筋性能優(yōu)良穩(wěn)定，是生產(chǎn)HRB400 Ⅲ級(jí)鋼筋的一種新合金化工藝。

氮化硅在單位質(zhì)量氮含量中僅次于氮化硼，價(jià)格較低，從而在增氮方面有非常高的性價(jià)比。