無塵車間潔凈室管理制度

1 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔凈建設區(qū)域的每位工人有責任和義務理解并遵守潔凈建設規(guī)則和程序。

2 承包商負責執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區(qū)域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設備。

3 承包商建造區(qū)域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進行培訓，并維護被允許在此區(qū)域工作的人員身份認定和管理。

4 開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保了本規(guī)則和程序的執(zhí)行。  

5重復違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應商將被除名。

3 草案細則 

潔凈室草案分為三部分，每一部分對應施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場地帶入臟物。

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無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。規(guī)劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。