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多線切割設(shè)備
目前,國(guó)內(nèi)硅片多線切割設(shè)備仍然是國(guó)外品牌廠家統(tǒng)治的天下,其核心技術(shù)長(zhǎng)期為他們所壟斷,嚴(yán)重制約我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。一些時(shí)候?qū)嶒?yàn)者會(huì)根據(jù)個(gè)人實(shí)驗(yàn)?zāi)康幕虮磺懈畈牧系奶匦詫?duì)切割線徑進(jìn)行具體要求,如要求切割下來(lái)的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品,這時(shí)所用金剛石線應(yīng)按規(guī)定選擇適當(dāng)?shù)木€徑。國(guó)家將對(duì)新能源及其裝備制造業(yè)給予有力的政策支持,并提出要強(qiáng)化科技創(chuàng)新,提升產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力,加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)和前沿技術(shù)研究,強(qiáng)化企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力建設(shè),以推進(jìn)重大科研成果產(chǎn)業(yè)化和產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展。
線切割工藝
目前,金剛線切割工藝的輔料主要為金剛線及切割液:
金剛線 金剛石鋸線是一種固態(tài)研磨工具,金剛石顆粒用電鍍或者環(huán)氧基方式粘接在基線上。金剛石鋸線分為電鍍金剛石鋸線和樹脂結(jié)合劑鋸線。
樹脂結(jié)合劑金剛石鋸線是一種采用樹脂作為結(jié)合劑,將金剛石磨粒固結(jié)于鋸絲基體表面而形成的固結(jié)磨料鋸線。脆硬材料硬度高、脆性大,通常為非導(dǎo)體或半導(dǎo)體,如:各種石材、寶石、玻璃、硅晶體、石英晶體、硬質(zhì)合金、陶瓷、稀土磁性材料等。樹脂結(jié)合劑鋸線制造方法與樹脂結(jié)合劑砂輪的制造類似,直接將含有金剛石磨料的樹脂混合物涂敷在金屬絲表面,經(jīng)過干燥后再固化。相比電鍍金剛石鋸線,樹脂涂層的剪切模量較低,鋸絲的扭切強(qiáng)度基本不變,更重要的是樹脂結(jié)合劑金剛石鋸絲制作工藝簡(jiǎn)單,生產(chǎn)成本低,生產(chǎn)。、
金鋼線切割專用設(shè)備
目前,行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行金鋼線切割技術(shù)升級(jí)改造的方案主要有兩種:
1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設(shè)備基礎(chǔ)上,通過對(duì)設(shè)備內(nèi)部軟硬件進(jìn)行升級(jí)改造,從而滿足金鋼線切割工藝。
2.改造方案是直接采購(gòu)金鋼線切割專用設(shè)備。
基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對(duì)切片機(jī)的設(shè)備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設(shè)備在不進(jìn)行改造的前提下,不能使用金剛線切割。
金屬切割
電火花線切割的缺點(diǎn)
有時(shí)某些工件可能會(huì)在表面出現(xiàn)裂紋、變形等問題。切割后的金屬表面沒有露原始的金屬,而是覆蓋一層氧化皮,若想觀察原始金屬層,需先將金屬表面的氧化皮磨掉,否則影響整個(gè)樣品表面的形態(tài)。
對(duì)于一些熔點(diǎn)特別高的金屬切割,如鎢合金,切割時(shí)接觸點(diǎn)放電的熱量所提供的溫度達(dá)不到其熔點(diǎn),因此難以對(duì)其進(jìn)行切割。當(dāng)被加工材料不導(dǎo)電且需要采用線切割的方式進(jìn)行加工時(shí),此時(shí)電火花線切割機(jī)不再適用。