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國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截?cái)?、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金剛石線鋸切割
電鍍金剛石線鋸是用電鍍的方法在金屬絲(線) (基體) 上沉積一層金屬(一般為鎳及鎳鈷合金) 并在沉積的金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。
與內(nèi)圓切割片、金剛石帶鋸、游離磨料多線切割相比較,金剛石線鋸切割顯現(xiàn)出一系列優(yōu)點(diǎn):加工表面損傷小、撓曲變形小,片厚一致性好,可隨意改變切割方向,精度佳,,壽命長(zhǎng)等。因此,越來越受到人們的關(guān)注。
金剛石線切割機(jī)
金剛石線徑的選擇:
金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇,一般硬度高、強(qiáng)度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應(yīng)選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機(jī)對(duì)材料的切割能力和切割速度。當(dāng)切割的材料易于切割時(shí)不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。一些時(shí)候?qū)嶒?yàn)者會(huì)根據(jù)個(gè)人實(shí)驗(yàn)?zāi)康幕虮磺懈畈牧系奶匦詫?duì)切割線徑進(jìn)行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品,這時(shí)所用金剛石線應(yīng)按規(guī)定選擇適當(dāng)?shù)木€徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2倍,因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。
高速切割設(shè)備
切割行程的設(shè)置:
切割行程=樣品的長(zhǎng)度 5mm。為保證將樣品切斷,通常會(huì)在樣品的實(shí)際高度之上增加5㎜。當(dāng)要求對(duì)樣品進(jìn)行開槽時(shí),實(shí)際切割行程應(yīng)與開槽深度相同,為保證停止切割時(shí)所開槽口深度達(dá)到要求,當(dāng)切割行程達(dá)到設(shè)定行程時(shí)應(yīng)暫停切割,但主軸帶動(dòng)金剛石切割線繼續(xù)運(yùn)行一段時(shí)間,從而使樣品未達(dá)到切割深度的位置繼續(xù)被切割,直到樣品被切割部位每一點(diǎn)都達(dá)到所要求的切割深度。超硬材料行業(yè)應(yīng)該為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,為減少硅材料消耗,降低制造成本,解決生產(chǎn)中的關(guān)鍵,打破當(dāng)前國(guó)外設(shè)備的壟斷局面,做出更大的貢獻(xiàn)。