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無(wú)塵車(chē)間潔凈室管理制度
1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行,在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功,現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。
2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。
3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建,后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。
實(shí)力公司用案例說(shuō)話,全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車(chē)間、廠房工程眾多,免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì),可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察
1 所有承包商有責(zé)任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序,并且在他們疏于遵從或違反時(shí)給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責(zé)任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。
2 承包商負(fù)責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對(duì)潔凈建設(shè)區(qū)域進(jìn)行檢查,并填寫(xiě)檢查清單。承包商負(fù)責(zé)提供潔凈室所需物品,例如:鞋套,毛巾,墊子和工裝。他也負(fù)責(zé)提供每日?qǐng)?zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。
3 承包商建造區(qū)域入口并對(duì)其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個(gè)入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對(duì)在潔凈區(qū)域工作的人員進(jìn)行培訓(xùn),并維護(hù)被允許在此區(qū)域工作的人員身份認(rèn)定和管理。
4 開(kāi)始階段,承包商應(yīng)在每個(gè)入口處安排人員(除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員)以確保了本規(guī)則和程序的執(zhí)行。
5重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開(kāi)除。沒(méi)有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。
3 草案細(xì)則
潔凈室草案分為三部分,每一部分對(duì)應(yīng)施工的一個(gè)過(guò)程。施工接近完工階段,不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場(chǎng)地帶入臟物。
無(wú)塵車(chē)間的風(fēng)速影響
小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯,風(fēng)速低了,氣流在過(guò)濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些,粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物,因此過(guò)濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明,對(duì)于過(guò)濾器,風(fēng)速減少一半,粉塵的透過(guò)率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9),風(fēng)速增加一倍,透過(guò)率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。4開(kāi)始階段,承包商應(yīng)在每個(gè)入口處安排人員(除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員)以確保了本規(guī)則和程序的執(zhí)行。
與擴(kuò)散的效果類(lèi)似,當(dāng)過(guò)濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng),被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速,帶靜電材料的過(guò)濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過(guò)每只過(guò)濾器的風(fēng)量。
對(duì)于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵,根據(jù)傳統(tǒng)理論,風(fēng)速降低后,粉塵與纖維碰撞的幾率會(huì)減少,過(guò)濾效率會(huì)隨之降低。但在實(shí)踐中這種影響并不明顯,因?yàn)轱L(fēng)速小了,纖維對(duì)粉塵的反彈力也小了,粉塵更容易被粘住。
在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中,電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大,潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。在我國(guó),電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶。據(jù)調(diào)查,世界上面積大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè),一個(gè)單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機(jī)。一、盡可能的選擇標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn),它有標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)之分,咱們都知道,非標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的商品,損耗比較的人力物力,代價(jià)天然比標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的商品代價(jià)有所上升,建議盡量可以選用標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的商品。
潔凈技術(shù)對(duì)我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,因?yàn)樗c產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,特別是對(duì)直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因?yàn)樗鼈兡芤鸾饘賹又g的短路。