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壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源主要有電壓控制型和電流/電荷控制型兩種[3],從實(shí)現(xiàn)方式上主要有線性和開關(guān)式兩種[4]。電壓控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源有以下幾種方式:
1)線性直流放大式電源直接采用高壓運(yùn)算放大器的方式具有靜態(tài)性能好、集成度高、結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點(diǎn),但由于高壓運(yùn)算放大器的輸出電流一般都小于200mA,因此壓電陶瓷執(zhí)行器的動態(tài)性能受到限制。
電流/電荷控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源源于Comstock和Newcomb與Flinn的研究工作,由于能降低疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器的滯后現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)線性驅(qū)動,得到深入研究。從表4可以看出,類似于氧化物改性的PZT陶瓷,受主和施主離子摻雜改性將導(dǎo)致BNT基陶瓷壓電性質(zhì)的/硬化0和/軟化0。但是電流/電荷控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源存在零點(diǎn)漂移,低頻特性差,限制了其應(yīng)用電流/電荷控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源源于Comstock和Newcomb與Flinn的研究工作,由于能降低疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器的滯后現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)線性驅(qū)動,得到深入研究。但是電流/電荷控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源存在零點(diǎn)漂移,低頻特性差,限制了其應(yīng)用[6