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真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。com/news/磁控濺射鍍膜膜層發(fā)皺、龜裂的原因及解決方法。真空鍍膜設(shè)備若有灰塵,將會(huì)影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。真空鍍膜設(shè)備真空熱處理是指金屬制件在真空或先抽真空后通惰性氣體條件下加熱,然后在油或氣體中淬火冷卻的技術(shù)。由于真空熱處理時(shí),工件基本不氧化,鋼件不脫碳,采用通氣對(duì)流加熱方式還可使加熱均勻,減少表面和心部的溫差,從而也減少畸變。目前它已成為工模具不可或缺和的熱處理工藝。
在真空條件下加熱工件,主要依賴輻射。由于輻射傳熱與溫度的4次方成比例,所以在850℃以下輻射效果不高,工件加熱速度很慢
真空電鍍?cè)O(shè)備膜厚的不均勻問題
無論監(jiān)控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點(diǎn)位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。廣泛應(yīng)用于汽車、音響、各類小家電、電腦、鐘表、玩具、手機(jī)、反光杯、化妝品、玩具等行業(yè)。如果真空電鍍?cè)O(shè)備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對(duì)真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響化。
在過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜系統(tǒng)制造廠家提供高性能的小規(guī)格、簡便型光學(xué)鍍膜系統(tǒng),同時(shí),用戶對(duì)性能的要求不僅沒有降低,反而有所提高,特別是在薄膜密度和保證吸水后光譜變化小化等方面。
現(xiàn)在,系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低,而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進(jìn)行光學(xué)鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問題。鍍膜技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。因此,選用現(xiàn)代化光學(xué)鍍膜系統(tǒng)的關(guān)鍵取決于對(duì)以下因素的認(rèn)真考慮:對(duì)鍍膜產(chǎn)品的預(yù)期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保證高度一致性工藝所必需的所有技術(shù)因素。
1、鍍膜技術(shù)在裝飾品方面的應(yīng)用
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
2、鍍膜技術(shù)在刀具、模具等金屬切削加工工具方面的應(yīng)用
在生活中我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。
鍍膜技術(shù)在建筑玻璃和汽車玻璃上的應(yīng)用
建筑玻璃有透光和隔熱兩個(gè)基本功能。對(duì)于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量,這對(duì)采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對(duì)于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求。
鍍膜技術(shù)在平板顯示器中的應(yīng)用
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且?guī)缀跛蓄愋偷钠桨屣@示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求??梢院敛豢鋸埖恼f:沒有薄膜技術(shù)就沒有平板顯示器件