在傳感器的線性范圍內(nèi)，希望傳感器的靈敏度越高越好，因為只有靈敏度高時，與被測量變化對應(yīng)的輸出信號的值才比較大，有利于信號處理，但要注意的是，傳感器的靈敏度高，與被測量無關(guān)的外界噪聲也容易混入，也會被放大系統(tǒng)放大，影響測量精度。

因此要求傳感器本身應(yīng)具有較高的信噪比，盡員減少從外界引入的廠擾信號，傳感器的靈敏度是有方向性的，當被測量是單向量，而且對其方向性要求較高，則應(yīng)選擇其它方向靈敏度小的傳感器；如果被測量是多維向量，則要求傳感器的交叉靈敏度越小越好。

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電容式振動傳感器是通過間隙或公共面積的改變來獲得可變電容，再對電容量進行測定而后得到機械振動參數(shù)的，電容式振動傳感器可以分為可變間隙式和可變公共面積式兩種，前者可以用來測量直線振動位移，后者可用于扭轉(zhuǎn)振動的角位移測定。

電容式加速度振動傳感器在操作上與壓阻式加速度振動傳感器類似，因為它們測量橋接電路的變化，然而它們不是電阻，而是測量電容的變化，傳感元件由兩個平行板電容器組成，以差分模式工作，它們依靠載波解調(diào)器電路或其等效電路產(chǎn)生與加速度成比例的電輸出，有幾種類型的電容元件，一種類型包含金屬傳感膜片和氧化鋁電容器板，兩個固定板將隔膜夾在中間，形成兩個電容器，每個都有一個固定板，兩個共用隔膜作為可移動板。

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震動傳感器利用敏感元件的等效RLC電學(xué)模型，可以在同一環(huán)境下對加速度傳感器進行系統(tǒng)設(shè)計，從而優(yōu)化微機電系統(tǒng)，能夠方便研究其振動位移響應(yīng)，對敏感元件的機械參數(shù)進行優(yōu)化設(shè)計，固有頻率的設(shè)計非常重要。

震動傳感器滿足待測加速度的頻率遠遠小于固有頻率的條件時，可以使可動電極上的輸出電壓與外界加速度呈線性關(guān)系，可動電極上的輸出電壓再通過后續(xù)的讀出電路讀出，使傳感器輸出的電壓與待測加速度成線性的關(guān)系。

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