微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。

清潔車間是指專門為控制房間的清潔和清除空氣中在規(guī)定范圍內(nèi)漂浮的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物而設(shè)計(jì)的房間。凈化工程公司對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。

潔凈車間表面光滑，盡可能減少集塵面，輪廓簡潔。潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)合理確定廠房的耐火等級、屋頂、墻面等材料的耐火極限以及防火通道的配置?？紤]到生產(chǎn)工藝、配風(fēng)、管道敷設(shè)、照明、建筑空間處理等因素，確定合適的斷面形式和層高，以節(jié)約能源，簡化結(jié)構(gòu)，降低成本。清潔車間的內(nèi)部設(shè)計(jì)應(yīng)營造愉快的心理環(huán)境，減少抑郁的感覺。

為了防止交叉污染，首先需要對線路、管道系統(tǒng)、排氣管、原料處理和運(yùn)行過程進(jìn)行分析，以縮短移動線路，避免交叉污染。操作人員、化學(xué)品、材料等線路不應(yīng)集中；車間周圍清潔，宜設(shè)置緩沖地帶；制造設(shè)備的進(jìn)出，對作業(yè)影響不大。一些空氣凈化系統(tǒng)中的空氣如果經(jīng)過處理后仍然不可避免地存在交叉污染，則無法回收：固體材料的粉碎、稱重、配料、混合、制備、壓片、包衣和填充；用有機(jī)玻璃精制的原料和藥品的精制和干燥。c溶劑；藥的生產(chǎn)區(qū)的病原體；身體操作區(qū)；生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)和揮發(fā)性氣體；用于固體口服制劑的顆粒、成品和干燥設(shè)備的凈化空氣。