光波超精密——三坐標氣浮導軌生產廠家

基于氣體動靜壓效應，氣浮導軌實現(xiàn)無摩擦、無振動的平穩(wěn)運動。其特點是運動精i確，清潔無污染。由于均化誤差的作用，可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。

一般采用伺服驅動、傳感器、閉環(huán)系統(tǒng)的方式實現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導軌廣泛應用于測量儀器和精密機械中，超精密工作臺常用的導軌有滾動導軌、靜壓力導軌等，滾動導軌的使用已用多年，滾動導軌運動精度可達微米級，摩擦因數(shù)可降至0.002~0.003。滾動式導軌具有滾動摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運動不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點，在實際應用中還存在不足。

光波超精密空氣導軌——三坐標氣浮導軌生產廠家

與普通滾動導軌相比，氣浮導軌具有以下優(yōu)點

導軌面之間為氣體潤滑，其摩擦系數(shù)極i小(約0.0005左右)，因此可以大大降低傳動功率；

由于系非接觸摩擦，所以導軌磨損極i小，壽命長，可長期保持制造精度，減少維修工作量；

氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌的運動精度；

(4)氣膜厚度與速度幾乎沒有關系，即使在非常低的速度下也不會產生爬行，運動平穩(wěn)；

(5)在不增加冷卻措施的情況下，幾乎不產生熱量，不發(fā)生粘度變化。

光波超精密技術研究院——三坐標氣浮導軌生產廠家

安置設備的房間的使用面積要求（盡量滿足）：長度實際需求 5 米；寬度≥4 米；高度 3.5 米。

設備安置房間應遠離跑道，周圍無震源，墻體不為外墻，周圍建立防帶。具體要求請建筑設計人員根據(jù)長距離精密計量及校準防震的通用要求設計。若該校準實驗室能建于地下是較為理想的（1、能實現(xiàn)大尺寸校準實驗室所需要的穩(wěn)定的環(huán)境溫度要求；2、易于實現(xiàn)大尺寸精密校準所需要的每小時溫度的變化量要求；3、能節(jié)約能源等）。

光波超精密氣浮導軌——三坐標氣浮導軌生產廠家

氣源要求

供氣壓力： >0.7 MPa

耗氣量： 1.5M3/min

氣源的出口溫度：20±4 ℃

推薦：使用空壓機 冷凍干燥機 二級過濾。

溫度要求

溫度要求： 20℃±2℃ (精度校驗應滿足 20℃±1℃)

溫度時間梯度：≤0.8℃/小時&≤1℃/24 小時  

溫度空間梯度: ≤0.6℃/m

注意:不應受到太陽照射，不應靠近暖氣，不應靠近進出通道。溫度將會直接影響測量精度及穩(wěn)定性。

濕度要求：

空氣相對濕度： 40%-70%

推薦：現(xiàn)場請至少配備一個高靈敏度干濕溫度計。

注意：過高濕度會導致機器表面、電機凝結水份，增大測量設備故障概率降低使用壽命?？照{的進回風系統(tǒng)設計應繞開精密導軌的主校準測量區(qū)域。

氣浮導軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導入導軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負載實現(xiàn)平穩(wěn)運動。

應用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

基準修正精度永不損失，導軌不用人為修正，補償，高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大，運動平穩(wěn)，振幅小，且振動頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響，

氣浮導軌，簡單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導軌座相對懸浮，實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動，并具有高精度導引。氣浮導軌相位滾動導軌的優(yōu)點有：1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關系，即使在非常低速也不會產生爬行，運動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護、清潔環(huán)保。