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電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)
電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A);電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa;電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的值:補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
潔凈室建筑之外單獨(dú)建立機(jī)房
在潔凈室建筑之外單獨(dú)建立機(jī)房,但其離潔凈室很近。機(jī)房要注意隔振、隔音問(wèn)題,地面應(yīng)全部做防水處理,并有排水措施。隔振:應(yīng)在振源的風(fēng)機(jī)、電機(jī)、水泵等的支架、底座作防振處理,甚至有必要的話將設(shè)備安在混凝土板塊上,再用防振材料支撐該板塊,該板塊的重量應(yīng)為設(shè)備總重量的2~3倍,。隔聲:除去系統(tǒng)上安裝消聲器外,大型機(jī)房可考慮在墻壁上貼附有一定吸聲性能的材料,要裝隔聲門,切忌在與潔凈區(qū)的隔墻上開門。
如果選擇集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng),空氣處理設(shè)備
如果選擇集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng),空氣處理設(shè)備集中在機(jī)房?jī)?nèi),通過(guò)輸送管把處理后的空氣分配給末端裝置,再送到實(shí)驗(yàn)室內(nèi),以不同換氣次數(shù)和氣流形式來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)參數(shù)的綜合控制。其特點(diǎn)是處理空氣量大,便于參數(shù)控制,是實(shí)驗(yàn)室裝修在潔凈工程方面的方式。如果選擇分散式潔凈空調(diào)系統(tǒng),會(huì)在實(shí)驗(yàn)室有潔凈需求的區(qū)域配置單獨(dú)的空調(diào)處理系統(tǒng),在出風(fēng)口處通過(guò)過(guò)濾器進(jìn)行空氣處理,然后分配給末端裝置,從而實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)參數(shù)的綜合控制。通常來(lái)說(shuō),此方式適合局部有潔凈需求的實(shí)驗(yàn)室。