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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。武漢同燦氣體機(jī)械有限公司歡迎您的致電,在這方面有需要都可以和我們聯(lián)系哦,期待您的來電!
泵的安裝條件,泵的安裝基礎(chǔ)應(yīng)高于地面100毫米,并應(yīng)建造擋雨棚。貯槽向泵排液的接口需在槽的底部,并且距離應(yīng)盡可能短,不能使用虹吸管,因為這樣的管路中有氣體可能形成氣阻,而使泵不能正常工作。貯槽排液接口的直徑應(yīng)滿足于流量的要求,但不能小于泵的吸入接口的直徑。在空分工藝流程中也設(shè)置工藝泵,例如:在主冷防爆系統(tǒng)中的液氧循環(huán)泵;上、下塔分開時(shí),將上塔底部的液氧送入下塔頂?shù)闹骼淠舭l(fā)器,兩塔之間設(shè)置的泵等。 按照工作原理的不同,低溫泵主要分為往復(fù)式和離心式兩類。