低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機低溫泵兩種。注入式液氦低溫泵主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到10-6帕壓力時灌入液氮和液氦，氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上。經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到10-12帕數(shù)量級，故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力。

離心式液體泵的啟動，通入密封氣并調(diào)好密封氣壓力，進(jìn)行充分預(yù)冷。在預(yù)冷過程中，還要經(jīng)常用手盤車，檢查軸轉(zhuǎn)動是否靈活，不允許有卡死或時輕時重的現(xiàn)象。如果軸卡死而不能轉(zhuǎn)動，切不可硬扳或強行啟動；在啟動時，一定要漸開液體泵進(jìn)口閥，并打開液體蒸氣放空閥，直至液體排出后為止。要使泵體緩慢冷卻到液體溫度，以防液體大量氣化，發(fā)生“氣堵”現(xiàn)象和“氣蝕”過程。