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節(jié)能原則:無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中。
不同級別的層流手術室其空氣潔凈度標準不同,例如國內標準I級層流手術室的標準為潔凈度5級,每立方尺空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù),≤100顆或每升空氣中≤3.5 顆。II級層流手術室的標準為潔凈度6級,每立方尺空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù),≤1000顆或每升空氣中≤35顆。III級層流手術室的標準為潔凈度7級,每立方尺空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù),≤10000顆或每升空氣中≤352顆。依次類推。
不同級別的層流系統(tǒng),其控制空間環(huán)境中的空氣置換率也不同,潔凈度級別越高,置換率越快,反之亦然。層流手術室墻壁應用具有抑菌作用的特殊涂料粉刷,光線明亮,色彩柔和且不須用水清潔沖洗。
無菌室,一般是在微生物實驗室內專辟一個小房間??梢杂冒宀暮筒AЫㄔ臁C娣e不宜過大,約4-5平方米即可,高2.5米左右。無菌室外要設一個緩沖間,緩沖間的門和無菌室的門不要朝向同一方向,以免氣流帶進雜菌。無菌室和緩沖間都必須密閉。室內裝備的換氣設備必須有空氣過濾裝置。
目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴沫等眾多行業(yè)均有應用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。