無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。一、盡可能的選擇標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，它有標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)之分，咱們都知道，非標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的商品，損耗比較的人力物力，代價(jià)天然比標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的商品代價(jià)有所上升，建議盡量可以選用標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的商品。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高的效率的設(shè)計(jì)和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。

在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中，電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大，潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。在我國(guó)，電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外，平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶。據(jù)調(diào)查，世界上面積大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè)，一個(gè)單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機(jī)。

潔凈技術(shù)對(duì)我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因?yàn)樗c產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，特別是對(duì)直徑小于1微米的顆粒特別敏感，因?yàn)樗鼈兡芤鸾饘賹又g的短路。