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無塵車間中的廢氣處理
無塵車間是指將車間內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,無塵車間即潔凈廠房,又叫潔凈室,潔凈室一般包括工業(yè)潔凈室和生物潔凈室,
生物潔凈室尤其是生物安全實驗室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。指的是:對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進行控制的技術(shù)。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過中效過濾方能排到室外;P3實驗室的排風(fēng)須經(jīng)過過濾器過濾后方能排到室外;P4實驗室的排風(fēng)須經(jīng)過兩級過濾器過濾后才能排到室外??紤]安全較好是采用袋進袋出的過濾器裝置。
在潔凈室過濾器的應(yīng)用上,國家規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、過濾器的三級過濾。
無塵車間較主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造、測試、試驗,提升產(chǎn)品質(zhì)量,是污染敏感產(chǎn)品重要的生產(chǎn)保證設(shè)施。而內(nèi)污染源則包括生產(chǎn)設(shè)備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺、包裝材料等。并將車間內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),不論外在環(huán)境條件如何變化,無塵車間內(nèi)均能維持設(shè)定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
關(guān)于無塵車間介紹
無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。10萬級無塵車間濕度:冬天控制在30-50%,夏天控制在50-70%。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間較主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵車間。
無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理,可采用亞過濾器代替過濾器;潔凈廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、測試、維護管理和安全運行創(chuàng)造必要的條件,應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理,應(yīng)采用初、中、過濾器三級過濾器;中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端
?無塵車間的級別
1、1級:級的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的準(zhǔn)確要求為亞微米。
2、10級: 十級的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
3、100級:百級無塵車間并非無菌室,百級無塵車間對“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要嚴(yán)格。
4、1000級:千級的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)。
5、10000級:萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配。
6、100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門。
7、300000級別:三十萬級無塵車間級別較低,用于普通潔凈區(qū),如級別不高的走道。
百級無塵車間并非無菌室,千級無塵車間對“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要嚴(yán)格。