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漲知識(shí)!帶你了解14類工業(yè)氣體
具體來(lái)說(shuō)工業(yè)氣體可分為以下14種:
外延氣體(Cpitaxial gases) :在仔細(xì)選擇的襯底上采用化學(xué)氣相淀積(CVD) 的方法生長(zhǎng)一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。液氮罐的放置液氮罐要存放在通風(fēng)良好的陰涼處,不要在太陽(yáng)光下直曬。硅外延氣體有4 種, 主要用于外延硅淀積, 多晶硅淀積, 淀積氧化硅膜, 淀積氮化硅膜, 太陽(yáng)電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過(guò)程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。
蝕刻氣體
蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng)、工藝控制方便、無(wú)脫膠現(xiàn)象、無(wú)基片損傷和沾污, 所以其應(yīng)用范圍日益廣泛。
摻雜氣體(Dopant Gases)
在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi), 以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率, 用來(lái)制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。
液氮冷凍
液氮冷凍是近代領(lǐng)域中的一門(mén)新技術(shù)。
儲(chǔ)存防護(hù)
操作注意事項(xiàng):密閉操作。密閉操作,提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過(guò)專門(mén)培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員穿防寒服,戴防寒手套。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。