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流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計(jì),壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計(jì)。
(2) 測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。0級的精度等級4、多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等5、內(nèi)置70余種氣體,觸屏式直接操作切換,無需重新校準(zhǔn)6、標(biāo)配三種顯示方式:數(shù)字、模擬和本地面板想了解更多關(guān)于質(zhì)量流量控制器的相關(guān)資訊,請持續(xù)關(guān)注本公司。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3) 地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,流量范圍可達(dá)0~200 slm。(3)地定量控制流量質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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流量控制器內(nèi)有水怎么辦及注意事項(xiàng)
一、當(dāng)無法忍受滲水后不得不購買一批新的設(shè)備,現(xiàn)在就不需要使用這種方法了,當(dāng)再有液態(tài)氨進(jìn)入到質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器內(nèi)部時(shí),只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進(jìn)行消毒即可。
二、排除液體的方法是怎樣的呢?液體中含有懸浮顆粒物,抽濕過程可能會(huì)留下固體顆粒,從而導(dǎo)致質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器內(nèi)留有殘?jiān)?。流量控制器的性能特點(diǎn)可按設(shè)計(jì)或?qū)嶋H要求設(shè)定流量,能自動(dòng)消除系統(tǒng)的壓差波動(dòng),保持流量不變。如果設(shè)備是316L不銹鋼結(jié)構(gòu)的耐腐蝕系列,那您大可高枕無憂,因?yàn)槟透g系列的結(jié)構(gòu)與液體流量計(jì)、液體流量控制器基本相同,可較大的程度地允許液體滲入。
質(zhì)量流量計(jì)在平時(shí)使用的時(shí)候需要注意哪些事項(xiàng)呢?
一、在使用質(zhì)量流量計(jì)的時(shí)候需要防止人為的斷電以及拆線,因?yàn)椴扇嚯娨约安鹦盘柧€的方法會(huì)使得設(shè)備短時(shí)間不計(jì)量還會(huì)導(dǎo)致計(jì)量糾紛。
二、設(shè)備在使用條件上必須進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定,該設(shè)備時(shí)屬于在線使用高精的測量儀表,長期使用時(shí)一定要定期的進(jìn)行標(biāo)定。
三、超過質(zhì)量使用范圍會(huì)導(dǎo)致儀表測量的精度下降,還會(huì)導(dǎo)致儀表損壞等。
四、設(shè)備的精度高價(jià)位也會(huì)高,并且還需要精心的維護(hù),在振動(dòng)以及使用條件進(jìn)行經(jīng)常檢查等,確保精度以及儀表的安全。
五、設(shè)備的應(yīng)用成功與否跟安裝是有直接關(guān)系的,,需要整齊的安裝外,還需要減少振動(dòng)的影響。
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