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凈化工程的等級(jí)劃分比較的嚴(yán)格,一般按照7個(gè)等級(jí)進(jìn)行的劃分,分別是1級(jí),10級(jí),100級(jí),1000級(jí),10000級(jí),100000,1000000級(jí),凈化安全要求是根據(jù)等級(jí)來實(shí)施的,凈化工程等級(jí)數(shù)越小,級(jí)別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來越高。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇?,F(xiàn)在我們國家的經(jīng)濟(jì)科技在發(fā)展,同時(shí)帶動(dòng)了社會(huì)各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個(gè)行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢(shì)。現(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,除了專業(yè)人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時(shí)候普通寫字樓的20倍,比美國更發(fā)達(dá)國家高出了15%。看到這些令人心驚的數(shù)字,我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā),設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來越高。1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。