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發(fā)布時間:2021-09-29 21:24  
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視頻作者:北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司






為什么用氦氣作為檢漏的氣體?

1.氦氣分子量小,擴(kuò)散性強(qiáng)、滲透率高,即可以通過較小的孔。

2.氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm,這說明正??諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小,即氦本底很好。

3.氦氣是無毒無色無味的惰性氣體,這就意味著,正常情況下其可以作為介質(zhì)在所有的物體中存在,且不發(fā)生反應(yīng)。

4.在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其它物質(zhì)區(qū)分。

5.綜合以上幾個特點,氦氣作為一種檢漏的示蹤氣體,是較佳的選擇。





檢漏氣體測試前切勿使用水槽試漏

檢漏氣體測試的漏孔通常非常微小或者是狹長的毛細(xì)管,如果在檢漏氣體測試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿,而堵在漏孔中的水因為表面張力的原因,會非常不易從小孔中驅(qū)逐,從而大大影響檢漏結(jié)果。解決這一問題的辦法,只能通過漫長的干燥過程來排除這些水分。正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,采用檢漏儀吸槍測量一定時間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量,實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

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充注檢漏氣體前先檢查大漏

在充注檢漏氣體前應(yīng)快速測試是否存在大漏。否則,從大漏孔中溢出的檢漏氣體將污染試漏區(qū)。大漏孔的簡易測試方法是將試件抽空,在短時間內(nèi)觀察是否保持抽空壓強(qiáng),如試件能保持抽空壓強(qiáng),則表明它不存在任何大漏孔,可充注檢漏氣體。

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氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化,就必須采用管殼來密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會因為各種原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞,所以在元器件封裝之后,就需要采取某些方法來檢測這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。正壓法的檢測標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜吸槍罩盒檢漏試驗方法》,主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏,如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。因為氦原子的尺寸很小,容易穿過小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部,所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞(即能夠檢測出漏氣速率約為10?11~10?12cm3/sec的小洞),靈敏度可與性檢漏方法匹敵,但要比性檢漏方法簡便。

氦氣檢漏試驗的方法:首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中,并加壓,讓氦氣通過小洞而進(jìn)入管殼中;然后取出,并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣;接著采用質(zhì)譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。





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