在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 到目前為止，在半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的水準(zhǔn)。 實(shí)際上，相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。 此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可 以受到較高的相對(duì)濕度的影響;較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六二硅氮烷(HMDS)。

電氣：

1、明確該工程各系統(tǒng)種類(lèi)、施工范圍（強(qiáng)電、消防應(yīng)急、監(jiān)控、呼叫、背景音樂(lè)、等）；

2、照明、插座配電總箱，機(jī)組設(shè)備動(dòng)力配電總箱的技術(shù)要求和產(chǎn)品供應(yīng)安裝單位?？偂⒎峙潆娤渖舷聵峨娎|的技術(shù)要求和供應(yīng)安裝單位；

明確各系統(tǒng)主機(jī)安裝位置（強(qiáng)電、消防應(yīng)急、監(jiān)控、呼叫、背景音樂(lè)、等）；

3、明確各配電箱安裝位置及安裝標(biāo)高。

氣體：

各氣體管道接口位置；甲方提供管道是否減壓；管道材質(zhì)；總閥門(mén)箱位置；氣體報(bào)警形式；各房間配置氣體種類(lèi)。

基本知識(shí)

首位，清潔基本原理。沒(méi)有處理氣體先歷經(jīng)初效清潔，再根據(jù)空調(diào)風(fēng)機(jī)開(kāi)展中效清潔。中效清潔后的氣體由離心風(fēng)機(jī)根據(jù)管路送進(jìn)清潔出風(fēng)口，從而進(jìn)到屋子。氣旋在屋子的流動(dòng)性帶去室內(nèi)空氣質(zhì)量中的浮塵、病菌等塵粒，隨后根據(jù)送風(fēng)百葉窗簾清除。

其次，凈化工程常見(jiàn)構(gòu)造原材料。生產(chǎn)車(chē)間墻、頂板才通常選用50mm厚的夾心彩鋼板，弧形墻腳、門(mén)、窗子等通常選用專(zhuān)用型空氣氧化鋁合金型材。路面通常選用環(huán)氧樹(shù)脂自流坪環(huán)氧地坪或高級(jí)耐磨損塑膠地板，有抗靜電規(guī)定的，必須采用抗靜電型。送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板做成，外界選用阻燃塑料PF聚氨酯發(fā)泡塑膠板。另一個(gè)，河南凈化工程送風(fēng)口一般選用不銹鋼板架構(gòu)，沖孔網(wǎng)板用噴漆鋁合金板。

系統(tǒng)軟件組成。河南凈化工程通常分成兩個(gè)部分：清潔無(wú)塵車(chē)間和生產(chǎn)車(chē)間凈化設(shè)備。生產(chǎn)車(chē)間凈化設(shè)備由更衣間、風(fēng)淋室、清潔間3個(gè)基礎(chǔ)構(gòu)成組成。