光學(xué)鍍膜所觸及的制造工藝是勞作和資本密集型的，并且非常耗時(shí)。影響鍍膜本錢的因素包括被鍍膜的光學(xué)件的數(shù)量，類型，尺寸，需求鍍多少層膜以及光學(xué)件上需求鍍膜的外表數(shù)量。鍍膜選用的堆積工藝對(duì)鍍膜本錢以及鍍膜功能方面的影響也非常巨大。此外，在這之前還需求做大量的準(zhǔn)備作業(yè)，以保證每個(gè)鍍膜光學(xué)件的質(zhì)量都能達(dá)到較高水平。

根據(jù)一定的要求和一定的方式把光束分成兩部分的薄膜。分光膜主要包括波長(zhǎng)分光膜、光強(qiáng)分光膜和偏振分光膜等幾類。

波長(zhǎng)分光膜又叫雙色分光膜，顧名思義它是按波長(zhǎng)區(qū)域把光束分成兩部分的薄膜。這種膜可以是一種截止濾光片或帶通濾光片，所不同的是，波長(zhǎng)分光膜不僅要考慮透過(guò)光而且要考慮反射光，二者都要求有一定形狀的光譜曲線。波長(zhǎng)分光膜通常在一定入射角下使用，在這種情況下,由于偏振的影響，光譜曲線會(huì)發(fā)生畸變,為了克服這種影響，必須考慮鍍膜的消偏振問(wèn)題。

因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。真空鍍膜加工?duì)于 高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。

真空鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設(shè)置清潔度高的工 作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求?？諝鉂穸却蟮牡貐^(qū)，除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部 件認(rèn)真清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴(kuò)散泵返油，對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須 采取擋油措施。

(1)真空蒸鍍：將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室，抽空后將膜料加熱到高溫，使蒸氣達(dá)到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面，凝結(jié)而成薄膜。

(2)陰極濺射鍍：將需鍍膜的基體放在陰極對(duì)面，把惰性氣體通入已抽空的室內(nèi)，保持壓強(qiáng)約1.33～13.3Pa，然后將陰極接上2000V的直流電源，便激發(fā)輝光放電，帶正電的亞離子撞擊陰極，使其射出原子，濺射出的原子通過(guò)惰性氣氛沉積到基體上形成膜。

(3)化學(xué)氣相沉積：通過(guò)熱分解所選定的金屬化合物或有機(jī)化合物，獲得沉積薄膜的過(guò)程。