淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

　　由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除、的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。　　

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密封件的無損檢漏

如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時(shí)，采用動(dòng)態(tài)法或靜態(tài)法對(duì)漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，就可測(cè)出漏孔來。通常這類密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時(shí)的壓力為高。因此，檢漏靈敏度高，費(fèi)用低。

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對(duì)傳動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行改造

　　為減少電機(jī)、傳動(dòng)軸的振動(dòng)向水環(huán)式真空泵傳遞，把它與傳動(dòng)軸之間的剛性連接改為彈性連接。使用GB4323-84彈性套柱銷聯(lián)軸器，較大補(bǔ)償位移量為0.6毫米，補(bǔ)償角為1°30，這樣，電機(jī)、傳動(dòng)軸的振動(dòng)可以通過彈性聯(lián)軸器得到補(bǔ)償，不會(huì)直接傳遞到真空泵。

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