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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
水環(huán)真空泵的油對極限壓力的影響較大,在結(jié)構(gòu)相同的擴(kuò)散真空機(jī)組中,真空系統(tǒng)中,被抽氣體的分壓力也會(huì)泵油的不同而變化,在添加泵油的時(shí)候要注意。
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水環(huán)真空泵的葉輪調(diào)節(jié)方法先介紹到這里,對于葉輪調(diào)節(jié),我們需要根據(jù)這種產(chǎn)品的生產(chǎn)速率,使用效果等方面來去進(jìn)行設(shè)置,做好日常處理。
保護(hù)水環(huán)真空泵本身,氣體倒灌會(huì)沖擊葉輪,使泵反向旋轉(zhuǎn),為保護(hù)泵體及其他設(shè)備,一般在泵出口處加裝止回閥,現(xiàn)在越來越多的機(jī)組將止回閥安裝到出口,可起到保護(hù)泵和系統(tǒng)的作用。
定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備。
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密封件的無損檢漏
如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時(shí),采用動(dòng)態(tài)法或靜態(tài)法對漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測,就可測出漏孔來。通常這類密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時(shí)的壓力為高。因此,檢漏靈敏度高,費(fèi)用低。
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