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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。我公司的主要產品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水環(huán)式真空泵及壓縮機:W、WY、WLW系列往復式真空泵旋片式2X系列、W、WY系列往復式真空泵,真空過濾機配套產品等,廣泛應用于石油、化工、電子、機械、冶金、礦山、食品、印刷等各個領域。
選擇時,應該了解真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵;如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,也能達到清潔真空要求。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導體易產生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍?! ?/span>
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對傳動系統(tǒng)進行改造
為減少電機、傳動軸的振動向水環(huán)式真空泵傳遞,把它與傳動軸之間的剛性連接改為彈性連接。使用GB4323-84彈性套柱銷聯(lián)軸器,較大補償位移量為0.6毫米,補償角為1°30,這樣,電機、傳動軸的振動可以通過彈性聯(lián)軸器得到補償,不會直接傳遞到真空泵。
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