淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

水環(huán)式真空泵的優(yōu)點(diǎn)

　　1）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。

　　2）結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

　　3）壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。

　　4）由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。

　　5）吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便。

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 干式真空泵是泵腔內(nèi)動(dòng)作，不會(huì)產(chǎn)生摩擦起火花，主要是看配的電機(jī)是否是防爆電機(jī)。干式泵真空度比較高價(jià)格相對(duì)較高，而水環(huán)真空泵用水做密封，真空度較差，價(jià)格較低。

干式泵也是有間隙的，氣體有個(gè)壓縮過(guò)程生熱，抽真空先形成負(fù)壓腔，抽到泵內(nèi)氣體，還要有個(gè)壓縮過(guò)程排出去。氣體的體積變化，會(huì)有熱量。水環(huán)泵的因?yàn)楸美镉兴?，其抽吸過(guò)程接近于等溫壓縮。

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　　為了保證水環(huán)真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)，就必須及時(shí)調(diào)整葉輪與前護(hù)板的間隙，金屬內(nèi)襯泵葉輪與前護(hù)板間隙在0.5-1毫米之間，橡膠內(nèi)襯泵葉輪與前后護(hù)套之間的間隙要相等。調(diào)節(jié)葉輪間隙時(shí)應(yīng)當(dāng)停泵，松開(kāi)壓緊軸承組件的螺栓，擰調(diào)整螺栓上的螺母，使軸承組件向前移動(dòng)，同時(shí)用手轉(zhuǎn)動(dòng)軸按泵轉(zhuǎn)動(dòng)方向旋轉(zhuǎn)，直到葉輪與前護(hù)板摩擦為止。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。　　

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