室內(nèi)面積達(dá)24m2,其工作潔凈度達(dá)1000級(jí)

室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級(jí),在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺(tái)以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級(jí)。室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺(tái)及電鍍腐蝕工作臺(tái)設(shè)置了獨(dú)立的對(duì)外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染?？照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。

靜電式凈化方式工作原理

靜電式凈化方式工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽極后釋放電荷。缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。

一個(gè)普通的無塵凈化車間,會(huì)涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調(diào)與通

一個(gè)普通的無塵凈化車間，會(huì)涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調(diào)與通風(fēng)系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)、通信系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、自動(dòng)化控制系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)、工藝管道系統(tǒng)等工程。無菌車間比普通的無塵凈化車間會(huì)更復(fù)雜，需要考量的因素更多。普通的凈化工程公司，難以良好完成無菌GMP凈化工程建設(shè)，建議選擇的公司來承建。無菌檢測(cè)界定是規(guī)定沒有活物微生物的存在，無菌車間產(chǎn)成品生產(chǎn)加工制造全過程中必須采用各種各樣方式來除去工藝品中存在的微生物和避免工藝品遭受微生物的環(huán)境污染。

潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動(dòng)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門

潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動(dòng)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門，設(shè)計(jì)為彈簧門，應(yīng)以鋁合金制作，要達(dá)到密封和易潔凈的要求。手術(shù)室及潔凈輔助用房的外窗必須是雙層密閉窗。 外窗框與墻體之間的縫隙在室內(nèi)即正壓面采用硅酮膠封閉，傳遞窗窗框與墻體的縫隙在墻體兩側(cè)用硅酮膠封閉，傳遞窗兩側(cè)的門扇要具有聯(lián)鎖裝置。門框與門扇的縫隙周邊連續(xù)敷設(shè)彈性密封條，使門關(guān)閉后形成密閉的密封線。