有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀

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有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu)，主要由二個(gè)有機(jī)材料生長(zhǎng)室組成，兩個(gè)有機(jī)材料生長(zhǎng)室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個(gè)生長(zhǎng)室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對(duì)接接口，能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。蒸發(fā)技術(shù)分為間歇蒸發(fā)與連續(xù)蒸發(fā)、直接電阻加熱蒸發(fā)和間接電阻加熱蒸發(fā),連續(xù)生產(chǎn)與制造厚膜時(shí)采用連續(xù)蒸發(fā)加熱。有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀的有機(jī)材料生長(zhǎng)室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測(cè)儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。