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氮本身無毒,無刺激性,吸入的氮?dú)馊砸栽瓮ㄟ^呼吸道排出。然而,空氣中含氮量增加會(huì)造成氧的稀釋,影響人的正常呼吸。高濃度的氮?dú)饪梢鹬舷?。液氮接觸皮膚能引起冷。
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目前,半導(dǎo)體行業(yè)中高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用的是不銹鋼光亮退火管(SS 304LBA、SS316LBA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等。在管道安裝前,應(yīng)根據(jù)不同的現(xiàn)場環(huán)境和使用氣體特性,選擇合適的配管材料和設(shè)計(jì)管路型式。
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習(xí)慣上, 我們用普通氣(工業(yè)氣)、純氣、高純氣、超純氣來表示氣體產(chǎn)品的等級(jí), 但目前尚無法對(duì)上述概念規(guī)定統(tǒng)一的量化標(biāo)準(zhǔn)。
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