真空鍍膜過程的對于濺射類鍍膜到底多重要？

可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，終形成薄膜。

濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。

濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射)，晶向(外沿)生長的控制也比較一般。以pld為例，因素主要有：靶材與基片的晶格匹配程度、鍍膜氛圍(低壓氣體氛圍)、基片溫度、激光器功率、脈沖頻率、濺射時間。

對于不同的濺射材料和基片，參數(shù)需要實驗確定，是各不相同的，鍍膜設(shè)備的好壞主要在于能否精準(zhǔn)控溫，能否保證好的真空度，能否保證好的真空腔清潔度。MBE分子束外沿鍍膜技術(shù)，已經(jīng)比較好的解決了如上所屬的問題，但是基本用于實驗研究，工業(yè)生產(chǎn)上比較常用的一體式鍍膜機主要以離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。

維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作

日常生活中，我們使用真空鍍膜設(shè)備都會維護，但是很多人維護的方法都很不對，也不按照步驟來拆卸和安裝真空鍍膜機，今天我們就來介紹下真空鍍膜機的維護步驟吧：

首先我們要保證鍍膜機與地面充分接觸，擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開維持泵。擴散泵和增壓泵停止工作，維持泵半小時后才能關(guān)，1小時后斷水，但泵內(nèi)未冷卻至80℃以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。

擴散泵和增壓泵各留有備用水出口，若鍍膜機故障或停電必須開備用出口讓其冷卻擴散泵和增壓泵，鍍膜工作前必須接通全部設(shè)備冷卻進水，以防止電極和基體材料燒毀。擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化，定期檢查和調(diào)整水流繼電器，檢查斷水報警是否正常，保證設(shè)備冷卻水供水暢通，在拆裝鍍膜機各機件時，應(yīng)注意保護各密封工作面不受機械劃傷或損傷，以保證鍍膜設(shè)備密封性能可靠。

設(shè)備各傳動轉(zhuǎn)軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封內(nèi)間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴散泵油。使用一段時間即會損耗，必須以相同的真空油脂和擴散泵油充入，決不能用其他油品代替。

真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件

1.環(huán)境溫度：10~30℃

2.相對濕度：不大于70%

3.冷卻水進水溫度：不高于25℃

4.冷卻水質(zhì)：城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?

5.供電電壓：380V，三相50Hz或220V，單相50Hz，電壓波動范圍342~399V或198V~231V，頻率波動范圍49~51Hz；

6.設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。

7.設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔，不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?；驓怏w存在。

真空鍍膜機設(shè)計安全

安全保護系統(tǒng)對任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機設(shè)備和人身安全，對于用戶來說，我們設(shè)計分配了2級的安全級別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù)，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數(shù)。

不論是工作在自動工作方式，還是手動維護方式，輸出量的互鎖保護都是非常重要的。為防止誤操作，我們設(shè)計了互鎖電路和程序互鎖的2級互鎖。條件不充分按錯鍵時，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動作，分別實現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常，綠色指示燈亮。但當(dāng)流量低于設(shè)定的下限時，紅燈點亮報警，停止工藝進程

鍍膜機通過用戶的使用和生產(chǎn)，證明整個程序化自動控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求。

控制系統(tǒng)界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好，光學(xué)減反射膜層的透射率等性能指標(biāo)完全符合航天GaAs太陽電池的要求，并為今后提高GaAs太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。

盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機的發(fā)展在國內(nèi)已有幾十年，技術(shù)雖不斷提高，但比較國外先進技術(shù)還有一定差距。本文對電子束蒸發(fā)鍍膜機所應(yīng)用的控制技術(shù)國際上雖然不是很新的技術(shù)，但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用，在國內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少，且要能長期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國內(nèi)真空行業(yè)在真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。