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電子束結(jié)構(gòu)介紹
粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。顯像管中的電子槍對應(yīng)于增速器的電子槍或離子源,顯像管中加速電子用的高壓電極對應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng),薄膜的純度高,可以同時(shí)濺射多種不同成分的材料,但是對靶材的要求高,不能象電子槍一樣節(jié)約資源。顯像管中控制電子運(yùn)動的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈,對應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件,如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運(yùn)行管道來說,為了減少粒子在運(yùn)動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞,所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬倍。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,根據(jù)科學(xué)家對粒子能量和流強(qiáng)的不同要求,陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。
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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品配置:
★樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱:常規(guī)加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點(diǎn)控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng):通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準(zhǔn)系統(tǒng),一次完成器件的多個(gè)工藝步驟
★檢測與控制光學(xué)特性的功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動 半自動控制
電子束鍍膜機(jī)的特點(diǎn)/用途介紹
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產(chǎn)品特點(diǎn)/用途:
?設(shè)備一體化設(shè)計(jì),占地面積小,性能穩(wěn)定,性價(jià)比高,使用維護(hù)成本低;
?適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等;
?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。