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水冷銅電極的特征有哪些?
它主要是解決現(xiàn)有高溫熔爐電極的密封及高溫?zé)g的問(wèn)題。它的主要特征是:包括電極上部分、電極下部分和外接電源接頭;其中,電極上部分由連為一體的接線柱、固定臺(tái)階和冷卻水管組成,接線柱、冷卻水管外表面設(shè)有螺紋;所外接電源接頭套裝在冷卻水管上,由上、下螺母固定;現(xiàn)有用于電子束蒸發(fā)加熱的樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)功能單一,樣品在弧形加熱臺(tái)中不能旋轉(zhuǎn)加熱,受熱不均勻,一定程度上影響加熱效率。電極下部分包括與冷卻水管下端配合的緊固螺母端蓋,該緊固螺母端蓋上固定有進(jìn)水管和排水管,進(jìn)水管上端口伸向冷卻水管上部的電極上部分受熱區(qū),排水管上端口位于冷卻水管底部。具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易裝配、能有效提高高溫熔爐電極使用壽命的特點(diǎn),主要用于高溫熔爐的電源輸入。
屬于高溫熔爐用電極【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種高溫熔爐用水冷電極裝置,該裝置主要用于高溫熔爐的電源輸入,解決高溫熔爐電極的密封及高溫?zé)g問(wèn)題,該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易裝配,能有效提高高溫熔爐電極的使用壽命。
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濺射靶材的種類
濺射靶材的種類較多,即使相同材質(zhì)的濺射靶材也有不同的規(guī)格。按照不同的分類方法,能夠?qū)R射靶材分為不同的類別,主要分類情況如下:
按形狀分類:長(zhǎng)靶、方靶、圓靶
按化學(xué)成份分類:金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)
按應(yīng)用領(lǐng)域分類:半導(dǎo)體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材、I具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。
表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體 是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。
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